Các bộ phận gốm

Video khác
November 18, 2025
Kết nối danh mục: bộ phận gốm sứ
Tóm tắt: Xem tổng quan này để khám phá lý do tại sao nhiều chuyên gia chú ý đến Khay Silicon Carbide CVD/SSiC độ tinh khiết cao để xử lý Wafer bán dẫn. Tìm hiểu về độ bền cơ học vượt trội, độ ổn định nhiệt và độ chính xác về kích thước của nó, được thiết kế cho các ứng dụng công nghiệp đòi hỏi khắt khe.
Tính năng sản phẩm liên quan:
  • Được thiết kế với các rãnh hình khuyên đa vùng để giảm trọng lượng và tối ưu hóa luồng nhiệt.
  • Có cấu trúc gân hướng tâm gia cố giúp tăng cường độ bền cơ học và ổn định khi quay.
  • Bề mặt gia công chính xác cao đảm bảo độ phẳng và độ đồng đều về độ dày cho các ứng dụng bán dẫn.
  • Giao diện lắp đặt tập trung cho phép lắp đặt an toàn trên trục quay và hệ thống tự động.
  • Cường hóa cấu trúc ở vòng ngoài tăng cường khả năng chống rung và ổn định tải trọng ngoại vi.
  • Có sẵn trong nhiều vật liệu hiệu suất cao bao gồm SSiC, RBSiC, gốm alumina và kim loại có độ bền cao.
  • Lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn, sản xuất đèn LED, xử lý vật liệu tiên tiến và máy móc chính xác.
  • Cung cấp hiệu quả nhiệt, độ bền kết cấu, ổn định quy trình và khả năng tùy biến cho nhiều nhu cầu công nghiệp khác nhau.
CÂU HỎI THƯỜNG GẶP:
  • Khay gốm SiC là gì?
    Khay gốm SiC là một giá đỡ chính xác được làm từ silicon carbide có độ tinh khiết cao, được thiết kế để hỗ trợ, tải và vận chuyển các tấm wafer hoặc đế trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, LED, quang học và quy trình chân không. Nó mang lại độ ổn định nhiệt đặc biệt, độ bền cơ học và khả năng chống biến dạng trong môi trường khắc nghiệt.
  • Những ưu điểm của việc sử dụng khay SiC so với khay thạch anh, than chì hoặc nhôm là gì?
    Khay SiC mang lại những lợi ích hiệu suất vượt trội bao gồm khả năng chịu nhiệt độ cao lên đến 1600-1800°C, độ dẫn nhiệt tuyệt vời, độ bền cơ học vượt trội, độ giãn nở nhiệt thấp, khả năng chống ăn mòn cao và tuổi thọ dài hơn trong điều kiện sản xuất liên tục chịu áp lực cao.
  • Khay gốm SiC chủ yếu được sử dụng cho những ứng dụng nào?
    Khay SiC được sử dụng rộng rãi trong việc xử lý wafer bán dẫn, các quy trình xử lý nhiệt LPCVD, PECVD, MOCVD, ủ, khuếch tán, oxy hóa và epitaxy, nạp wafer sapphire/đế quang học, môi trường chân không cao và nhiệt độ cao, và các nền tảng cố định CMP hoặc đánh bóng chính xác.
Video liên quan