Tóm tắt: Trong hướng dẫn này, chúng tôi nhấn mạnh các ý tưởng thiết kế chính và cách chúng chuyển thành hiệu suất.Xem làm thế nào Microfluidic Laser Equipment sử dụng một vòi nước mỏng tóc để hướng năng lượng laser cho chế biến wafer bán dẫnKhám phá cách phương pháp vi công nghệ lai này làm giảm thiệt hại nhiệt, ngăn ngừa ô nhiễm và cải thiện chất lượng cạnh trên vật liệu cứng, mong manh như các tấm SiC và GaN.
Tính năng sản phẩm liên quan:
Phương pháp vi cơ lai ghép một tia nước mỏng với chùm tia laze để cung cấp năng lượng chính xác.
Cơ chế dẫn hướng phản xạ nội toàn phần đảm bảo truyền chùm tia laze chính xác tới phôi.
Làm mát liên tục và loại bỏ cặn bẩn trong quá trình xử lý để vận hành sạch hơn, ổn định hơn.
Giảm thiệt hại do ảnh hưởng của nhiệt, ô nhiễm, oxy hóa và các vết nứt nhỏ trong vật liệu bán dẫn.
Hỗ trợ các bước sóng laser khác nhau (1064 nm, 532 nm, 355 nm) và mức công suất lên tới 200 W.
Đường kính vòi phun có thể định cấu hình từ 30-150 μm sử dụng vật liệu sapphire hoặc kim cương.
Định vị có độ chính xác cao với độ chính xác lên tới ±5 μm và độ lặp lại ±2 μm.
Áp dụng cho các quy trình đóng gói tiên tiến, cắt wafer, khoan chip và sửa chữa khuyết tật.
CÂU HỎI THƯỜNG GẶP:
Công nghệ laser microjet là gì?
Công nghệ laser vi tia là một quy trình gia công vi mô lai trong đó một tia nước mỏng, tốc độ cao dẫn hướng chùm tia laser bằng cách sử dụng phản xạ bên trong toàn phần, cung cấp năng lượng chính xác cho phôi đồng thời cung cấp khả năng làm mát liên tục và loại bỏ mảnh vụn.
Những ưu điểm chính của xử lý laser vi tia so với xử lý laser khô là gì?
Các ưu điểm chính bao gồm giảm hư hỏng do ảnh hưởng của nhiệt, ít nhiễm bẩn và tái định vị, giảm nguy cơ oxy hóa và các vết nứt vi mô, giảm thiểu độ côn kerf và cải thiện chất lượng cạnh trên vật liệu bán dẫn cứng và giòn.
Vật liệu bán dẫn nào phù hợp nhất cho quá trình xử lý laser vi tia?
Nó đặc biệt phù hợp với các vật liệu cứng và giòn như cacbua silic (SiC) và gali nitrit (GaN), cũng như các tấm silicon, vật liệu có dải thông cực rộng như kim cương và oxit gali, cũng như các chất nền gốm tiên tiến được chọn lọc.