Tại sao các miếng silicon có phẳng hoặc đục?

Các tấm silicon, nền tảng của các mạch tích hợp và các thiết bị bán dẫn, có một đặc điểm thú vị - một cạnh phẳng hoặc một vết cắt nhỏ vào bên.Chi tiết nhỏ này thực sự phục vụ một mục đích quan trọng cho việc xử lý wafer và chế tạo thiết bị.Là một nhà sản xuất wafer hàng đầu, chúng tôi được hỏi thường xuyên - tại sao các wafer silicon có phẳng hoặc đục?chúng ta sẽ giải thích chức năng của phẳng và notches và thảo luận một số sự khác biệt chính.

Chúng tôi có một loạt các tiêu chuẩn và tùy chỉnhVỏ siliconcó sẵn để đặt hàng trực tuyến thông quaWaferPro- với các phẳng tiêu chuẩn SEMI chính xác, các vết đục, và các phẳng tùy chỉnh cho nhu cầu silicon của bạn.

Vai trò của các đường phẳng và các đường đinh

Vỏ siliconlà nhạy cảm và phải được xử lý chính xác trong quá trình sản xuất thiết bị.Đường phẳng và các vết nét cung cấp một nơi cho máy móc nắm lấy wafer một cách an toàn mà không tiếp xúc với các bề mặt chính.Điều này bảo vệ bề mặt wafer có giá trị khỏi bất kỳ thiệt hại hoặc ô nhiễm nào trong quá trình chế biến.

Có hai loại chính được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn:

• Phẳng - đây là các cạnh thẳng được cắt vào bên của wafer tròn
• Các vết nét - các vết nét hình chữ V nhỏ trong chu vi của wafer

Những cỗ máy xử lýVỏ siliconcó các bộ hiệu ứng cuối được thiết kế đặc biệt để nắm chặt các phẳng hoặc notch để vận chuyển và sắp xếp trong thiết bị chế tạo.Khu vực nắm giữ được giữ rất tối thiểu để cho phép diện tích bề mặt tối đa để xây dựng mạch tích hợp.

Điều này cho phép di chuyển tự động và an toàn của miếng giữa các thiết bị quy trình trong các dây chuyền sản xuất.Các nhà khai thác cũng có thể cẩn thận xử lý các wafer bằng tay bởi các phẳng / notches khi tải hoặc thả từ hộp chứa băng.

Tại sao lại có những cái phẳng và những cái đệm?

Sự không đối xứng của một phẳng hoặc notch phục vụ một chức năng sắp xếp quan trọng cho sản xuất wafer.Nếu không có chúng, hầu như sẽ không có cách nào để định hướng một cách đáng tin cậy và lập bản đồ các vị trí chết.

Định hướng & Bản đồ

Vỏ silicontinh thể có cấu trúc nguyên tử được sắp xếp theo các mặt phẳng và hướng cụ thể - nó rất quan trọng hướng mà wafer được xoay!

Các phẳng và các vết mốc được sử dụng để thiết lập định hướng của các mặt phẳng và trục tinh thể này.Với sự bất đối xứng trên đường viền, các kỹ sư có thể sắp xếp chính xác theo các hướng tinh thể <110> hoặc <100> cần thiết.

Sự sắp xếp định hướng này đảm bảo lập bản đồ đúng từ wafer đến các thiết bị chip cuối cùng.Mặt nạ và thiết bị nhắm mục tiêu các vị trí cụ thể trên bề mặt wafer để xây dựng các cấu trúc vàmạch tích hợp.Nếu không được sắp xếp đúng cách thì thiết bị này sẽ trở nên vô dụng!

Việc xử lý và an toàn

Như đã đề cập, hình dạng của phẳng / notches cho phép xử lý an toàn bởi thiết bị sản xuất.liên lạcbề mặt wafer.

Sự tiếp xúc như vậy có nguy cơ bị ô nhiễm làm hỏng chức năng.Các vị trí nắm bắt ở chu vi tránh sự ô nhiễm này trong khi bảo vệ wafer tốt hơn.

Hơn nữa, các kỹ sư thường tránh các góc và cạnh sắc nét khi xử lý mỏng manhvật liệu như miếng silicon. Phẳng và đường conggiảm bớt vết nứt hoặc vỡ so với việc xử lý bằng các cạnh sắc.

Các phẳng hoặc các vết nét tối đa hóa sự ổn định khi xử lý trong khi làm sạch không gian để chế tạo thiết bị.

Wafer Flats vs Wafer Notch

Cả hai phẳng và notch phục vụ thành công cùng một vai trò, vì vậy tại sao có hai loại?

Các lớp phẳng chiếm nhiều không gian hơn trên đường viền nhưng cung cấp bề mặt bám thẳng lớn hơn.

Có những lý do lịch sử dựa trên sự phát triển của ngành công nghiệp.Đầu tiên, phẳng cung cấp một tín hiệu thị giác dễ dàng và truy cập nắm bắt cho kỹ thuật viên wafer.

Chủ yếu là loại phụ thuộc vàothiết kế thiết bị và thông số kỹ thuật từ các nhà cung cấp.Hầu hết các công cụ chế tạo hiện nay hoạt động dễ dàng với cả hai phẳng hoặc notch.

Vì vậy, các nhà máy bán dẫn áp dụng tiêu chuẩn phù hợp nhất thay vì trộn và kết hợp.

Là một nhà sản xuất wafer hàng đầu, chúng tôi có khả năng cung cấp wafer bằng phẳng hoặc notch như khách hàng yêu cầu cho các dây chuyền sản xuất của họ.

Những điều cần biết

Trong khi một tính năng tinh tế, phẳng và notches cho phép xử lý, sắp xếp và an toàn chobột siliconxử lý.không đối xứngcho phép định hướng chắc chắn trong khi cung cấp cho thiết bị truy cập vào các wafer cầm mà không làm hỏng bề mặt.

Lần sau khi bạn nhìn vào một mạch tích hợp, hãy nghĩ về vai trò quan trọng của một phẳng nhỏ bé như vậy trong việc chế tạo nó!

Không có phẳng hoặc notches, các transistor hơn một nghìn tỷ trênsilicon sẽ không bao giờ được đưa vào các thiết bị điện tử hiện đại của bạnMột lý do nữa tại sao những chi tiết dường như vô nghĩa lại rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn!