|
Thông tin chi tiết |
|||
| Độ tinh khiết: | 990,9% | Màu sắc: | Màu đen |
|---|---|---|---|
| Mật độ: | 3,14g/cm3 | Độ bền uốn: | 410Mpa |
| Mô đun Young: | 430GPa | Tỷ lệ Poisson: | 0,17 |
| độ bền gãy xương: | 2～3MPa m1/2 | Hệ số giãn nở nhiệt: | 4.1x10-6 [Nhiệt độ bình thường ~ 800oC] |
| Làm nổi bật: | 2 inch SiC đĩa gốm,Đĩa gốm SiC có kích thước tùy chỉnh,4 inch SiC đĩa gốm |
||
Mô tả sản phẩm
SiC đĩa gốm, cho 2 inch 4 inch 6 inch chế biến wafer và tùy chỉnh kích thước
SiC ceramic tray plate
SiC (Silicon Carbide) đĩa gốm là các thành phần chuyên dụng được thiết kế cho các ứng dụng hiệu suất cao, đặc biệt là trong ngành công nghiệp bán dẫn.Những khay này đóng một vai trò quan trọng trong quá trình sản xuất các thiết bị bán dẫn, cung cấp một nền tảng ổn định và đáng tin cậy để chế biến các tấm silicon.Các khay gốm SiC có thể chịu được nhiệt độ cao cần thiết trong các giai đoạn xử lý wafer khác nhau, chẳng hạn như epitaxy, khuếch tán và oxy hóa.
Ngoài tính chất nhiệt của chúng, khay SiC cho thấy độ bền cơ học đáng chú ý, cho phép chúng hỗ trợ các nền nặng mà không bị biến dạng hoặc nứt.Chống hóa học tuyệt vời của chúng đảm bảo độ bền trong sự hiện diện của vật liệu ăn mòn thường gặp trong các quy trình sản xuất bán dẫn.
Hơn nữa, các tấm khay gốm SiC góp phần cải thiện phân phối nhiệt, điều này rất cần thiết để duy trì các điều kiện chế biến nhất quán trên bề mặt wafer.Tính năng này giúp giảm thiểu các khiếm khuyết và nâng cao chất lượng tổng thể của các thiết bị bán dẫn.
Những khay linh hoạt này cũng có thể được tùy chỉnh theo kích thước và hình dạng khác nhau để đáp ứng các yêu cầu sản xuất cụ thể, làm cho chúng trở thành một tài sản không thể thiếu trong ngành công nghiệp bán dẫn,nơi độ chính xác và độ tin cậy là quan trọng nhất.
Tính chất của đĩa gốm SiC
Độ ổn định nhiệt cao:
Các tấm khay gốm SiC có thể chịu được nhiệt độ cực cao, làm cho chúng phù hợp với các ứng dụng nhiệt độ cao như ngâm và chế biến bán dẫn.
Sức mạnh cơ học tuyệt vời:
Chúng có sức mạnh và độ cứng vượt trội, cho phép chúng chịu được tải trọng nặng mà không bị biến dạng, đảm bảo độ bền và tuổi thọ lâu dài.
Chống hóa học:
Các khay SiC có khả năng chống ăn mòn và tấn công hóa học cao, làm cho chúng lý tưởng để sử dụng trong môi trường hung hăng, đặc biệt là trong chế biến hóa chất và sản xuất bán dẫn.
Chống nhiệt:
Các tấm này có độ dẫn nhiệt tốt, thúc đẩy phân phối nhiệt hiệu quả, điều này rất cần thiết trong các quy trình đòi hỏi kiểm soát nhiệt độ đồng đều.
Trọng lượng nhẹ:
Mặc dù sức mạnh của chúng, khay gốm SiC tương đối nhẹ, tạo điều kiện xử lý và vận chuyển dễ dàng hơn trong quá trình sản xuất.
Phân cách điện:
Các vật liệu SiC cung cấp các tính chất cách điện tuyệt vời, làm cho chúng phù hợp để sử dụng trong các ứng dụng điện tử, nơi dẫn điện phải được giảm thiểu.
Sự mở rộng nhiệt thấp:
Tỷ lệ mở rộng nhiệt thấp đảm bảo sự ổn định kích thước trong các điều kiện nhiệt độ khác nhau, giảm nguy cơ biến dạng hoặc nứt.
| Nhà sản xuất | Asuka | Asuka | Công ty A | Công ty B | Công ty C | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Tên sản phẩm | ASiC | SiC3N | ||||
| Phương pháp sản xuất | Chất xơ hóa bằng áp suất bình thường | Chất xơ hóa bằng áp suất bình thường | Sắt nóng | CVD | Si-SiC | |
| Mật độ | g·cm3 | 3.15 | 3.18 | 3.15 | 3.21 | 3.05 |
| Độ cứng của Vicker | 28 | 28 | 22 | 26 | - Ừ. | |
| Sức mạnh uốn cong | Mpa | 410 | 450 | 600 | 590 | 220 |
| Độ đàn hồi | GPA | 430 | 430 | 390 | 450 | 280 |
| Độ cứng gãy | Mpa/cm^0.5 | 2.5 | 2.5 | 4.4 | - Ừ. | - Ừ. |
| Sự giãn nở nhiệt | E-6/K | 4.1 | 4.1 | 4.3 | 4 | 4.8 |
| Khả năng dẫn nhiệt | W/m•K | 170 | 140 | 230 | 250 | 225 |
Khả năng tùy chỉnh:
Các tấm khay gốm SiC có thể được sản xuất với các kích thước và hình dạng khác nhau, cho phép tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu ứng dụng cụ thể.
Các tính chất này làm cho các tấm khay gốm SiC trở thành một thành phần thiết yếu trong các ngành công nghiệp khác nhau, đặc biệt là trong chế tạo bán dẫn, ngâm nhiệt độ cao và chế biến hóa chất.
Ứng dụng của đĩa gốm SiC
Sản xuất bán dẫn:
Các tấm khay gốm SiC được sử dụng rộng rãi để hỗ trợ miếng wafer silicon trong các quy trình chế tạo khác nhau, bao gồm epitaxy, khuếch tán và oxy hóa.Tính ổn định nhiệt cao và độ bền cơ học của chúng đảm bảo điều kiện chế biến tối ưu và giảm thiểu các khiếm khuyết.
Chế độ Sintering nhiệt độ cao:
Trong sản xuất gốm và vật liệu tiên tiến, khay SiC được sử dụng trong các quy trình ngâm nhiệt độ cao,cung cấp một nền tảng đáng tin cậy chịu được điều kiện khắc nghiệt mà không bị biến dạng.
Xử lý hóa học:
Do khả năng chống hóa chất tuyệt vời của chúng, khay gốm SiC lý tưởng để xử lý hóa chất hung hăng trong phòng thí nghiệm và môi trường công nghiệp.Cột chưng cất, và các thiết bị khác đòi hỏi độ bền chống lại các chất ăn mòn.
Các thành phần điện tử và điện:
Các khay SiC được sử dụng làm chất nền trong sản xuất các thiết bị và thành phần điện tử,nơi mà tính chất cách nhiệt và tính dẫn nhiệt của chúng rất quan trọng để duy trì hiệu suất và độ tin cậy.
Ứng dụng quang học:
Trong sản xuất thành phần quang học, khay SiC được sử dụng để hỗ trợ và xử lý các vật liệu đòi hỏi kiểm soát nhiệt độ và độ ổn định chính xác, đảm bảo sản phẩm cuối chất lượng cao.
Ngành hàng không vũ trụ và ô tô:
Các tấm khay gốm SiC được sử dụng trong các ứng dụng hàng không vũ trụ và ô tô vì tính chất nhẹ và bền cao của chúng,đặc biệt là trong các thành phần đòi hỏi quản lý nhiệt và chống ăn mòn.
Nghiên cứu và Phát triển:
Trong môi trường nghiên cứu và phát triển, khay SiC thường được sử dụng cho các thiết lập thử nghiệm liên quan đến nhiệt độ cao hoặc hóa chất ăn mòn, cung cấp một nền tảng mạnh mẽ cho thử nghiệm vật liệu sáng tạo.
SiC đĩa gốm trần
