Sapphire nâng pin cho chất bán dẫn Ceramic nâng pin cao độ tinh khiết Sapphire nâng pin

Sapphire nâng pin cho chất bán dẫn Ceramic nâng pin cao độ tinh khiết Sapphire nâng pin

Tóm tắt của Sapphire pin nâng

Sapphire nâng chân là các thành phần kỹ thuật chính xác được sử dụng rộng rãi trong

Thiết bị xử lý bán dẫn, đặc biệt là trong xử lý wafer, epitaxialtăng trưởng, và các hệ thống lắng đọng như MOCVD (Dị tích hơi hóa học kim loại hữu cơ), PECVD (Dị tích hơi hóa học tăng cường plasma), và nhiệt độ cao khác, chân không,hoặc môi trường ăn mònĐược sản xuất từ một tinh thể oxit nhôm (Al2O3), còn được gọi là sapphire tổng hợp, các chân nâng này được đánh giá cao vì độ cứng đặc biệt, độ ổn định nhiệt, khả năng chống hóa học,và độ bền.

Tính chất của chân nâng Sapphire

Đinh nâng sapphire thường được thiết kế tùy chỉnh

Lợi thế của chân nâng bằng saphir

a.Chống nhiệt độ cao

Sapphire duy trì độ bền cơ học của nó ở nhiệt độ vượt quá 1.500 ° C, làm cho nó phù hợp với các lò phản ứng epitaxial và buồng lắng đọng nơi các vật liệu khác có thể biến dạng, oxy hóa hoặc xuống cấp.

b. Sự ổn định hóa học

Sapphire là hóa học trơ trong khí phản ứng và ăn mòn như H2, NH3, và HF, đảm bảo hiệu suất lâu dài trong môi trường CVD và khắc.

c. Độ cứng cực kỳ

Độ cứng bề mặt cao chống mài mòn và trầy xước do tiếp xúc với wafer và hoạt động cơ học. Điều này giảm thiểu sự phát sinh hạt và ô nhiễm.

d. Độ chính xác kích thước

Sapphire có thể được gia công với độ khoan dung chặt chẽ (± 1 μm), đảm bảo chiều cao nâng wafer nhất quán, độ chính xác định vị và độ tin cậy sắp xếp.

e.Sản xuất hạt thấp

Không giống như gốm sứ hoặc kim loại phủ có thể vỡ hoặc thải khí trong chu trình nhiệt, saphir không tạo ra các hạt, điều này rất quan trọng đối với môi trường quá trình trong phòng sạch và siêu tinh khiết.

f.Thời gian sử dụng dài

Kháng mòn và ổn định của Sapphire trong điều kiện khắc nghiệt góp phần làm giảm tần suất bảo trì và thời gian hoạt động của thiết bị lâu hơn.

Hình ảnh vật lý của chân nâng sapphire

Ứng dụng của chân nâng Sapphire

Sapphire lift pins được sử dụng trong một loạt các quy trình bán dẫn và vật liệu tiên tiến, nơi các wafer cần được xử lý chính xác trong quá trình chế tạo.

a. Hệ thống MOCVD

• Tăng trưởng bán dẫn hợp chất dựa trên GaN, GaAs và InP

• Sản xuất đèn LED và đèn diode laser

• Các miếng vải sapphire và chất nền sẵn sàng dùng epi

b.PECVD và LPCVD

• Chuyển wafer trong quá trình lắng đọng màng mỏng dựa trên plasma

• Được sử dụng trong vi điện tử, pin mặt trời, MEMS và photonics

c.Các lò xử lý nhiệt

• Các bước nóng nóng, oxy hóa hoặc khuếch tán

d.Kiểm tra và xử lý wafer

• Các hệ thống cơ khí hỗ trợ hoặc điều khiển tạm thời các wafer

e.Phòng khắc và làm sạch

• Khi khả năng kháng hóa học là quan trọng trong quá trình làm sạch trước hoặc tháo bỏ miếng

Câu hỏi và câu trả lời

Hỏi: Những yếu tố chính nào nên được xem xét khi mua chân sapphire?

A:Kịch bản ứng dụng

• Điều kiện vật chất: Xác định các điều kiện môi trường mà các chân nâng sẽ tiếp xúc, chẳng hạn như nhiệt độ cao hoặc môi trường ăn mòn.
• Mục đích: Chọn thiết kế phù hợp dựa trên ứng dụng cụ thể (ví dụ: đo quang phổ, các dụng cụ chính xác, v.v.).

Kích thước và thông số kỹ thuật

• Chiều kính và chiều dài: Chọn đường kính và chiều dài phù hợp dựa trên kích thước của các mẫu được hỗ trợ hoặc nâng.
• Yêu cầu dung nạp: Đảm bảo rằng các chân nâng đáp ứng các yêu cầu dung sai kích thước của ứng dụng của bạn để duy trì độ chính xác.

Các khuyến nghị sản phẩm liên quan

Các thanh sapphire