 |
High Purity Sapphire Lift Pin For Semiconductor Wafer Handling Cấu hình tùy chỉnh
Thông tin chi tiết sản phẩm:
| Place of Origin: | China |
| Hàng hiệu: | ZMSH |
Thanh toán:
| Số lượng đặt hàng tối thiểu: | 1 |
|---|---|
| Payment Terms: | T/T |
|
Thông tin chi tiết |
|||
| Vật liệu: | Sapphire đơn | Dimensions: | Customized |
|---|---|---|---|
| độ nhám bề mặt: | RA 0,02μm | Working Temperature: | >2000°C |
| hình dạng đầu: | Phẳng 、 tròn 、 thon | Mounting: | Mechanical or Threaded |
| Làm nổi bật: | Đinh nâng Sapphire bán dẫn Wafer xử lý,Kích thước tùy chỉnh Sapphire Lift Pin,Đinh nâng sapphire tinh khiết cao |
||
Mô tả sản phẩm
Bảng giới thiệu sản phẩm
Sapphire lift pin là một chân nâng được làm từ sapphire tinh thể đơn tinh khiết cao, chủ yếu được sử dụng trong thiết bị sản xuất bán dẫn để hỗ trợ và di chuyển wafer.Nhờ sự chống nhiệt độ cao của sapphire, sự ổn định hóa học và độ cứng cực cao, chân nâng sapphire có thể duy trì hiệu suất ổn định trong môi trường khắc nghiệt. Sử dụng chân nâng sapphire làm giảm đáng kể nguy cơ ô nhiễm wafer,kéo dài tuổi thọ thiết bị, và cải thiện năng suất quy trình tổng thể.
Nguyên tắc cơ bản
Nguyên tắc cơ bản của một chân nâng sapphire là nâng hoặc hạ chính xác các miếng trong quá trình chế biến để đảm bảo vị trí thích hợp.Nhiều chốt nâng sapphire thường hoạt động cùng nhau để ngăn chặn sự biến dạng hoặc hư hỏng waferBởi vì chân nâng sapphire chịu được nhiệt độ cao, chân không và môi trường ăn mòn, nó cung cấp tuổi thọ dịch vụ lâu hơn nhiều và độ tin cậy cao hơn các vật liệu thông thường.
Thông số kỹ thuật
| Điểm | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Vật liệu | Thạch kim đơn tinh |
| Kích thước | Tùy chỉnh |
| Độ thô bề mặt | Ra ≤ 0,02μm |
| Nhiệt độ hoạt động | > 2000°C |
| Tỷ lệ mở rộng nhiệt | 5.8 × 10−6 /°C |
| Sức mạnh uốn cong | ≥ 400 MPa |
| Tính minh bạch | Độ truyền cao trong phạm vi nhìn thấy |
| Chống ăn mòn | Tốt lắm. |
| Hình dạng mũi | Phẳng, tròn, cong |
| Lắp đặt | Máy tính hoặc có sợi dây |
Ứng dụng
Sapphire nâng chân được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị để khắc (Etch), hóa chất hơi lắng đọng (CVD), vật lý hơi lắng đọng (PVD), và lớp nguyên tử lắng đọng (ALD). Trong wafer tải, chuyển,và làm mát, các chân nâng sapphire đóng một vai trò quan trọng trong việc hỗ trợ và định vị. Đặc biệt trong các thiết bị quang điện tử, sản xuất MEMS và sản xuất bán dẫn điện,chân nâng sapphire đã trở thành một thành phần cốt lõi.
Câu hỏi và câu trả lời
Q1: Tại sao chọn một chân nâng sapphire thay vì gốm hoặc kim loại?
A1: Kích nâng sapphire cung cấp khả năng chống hóa học và ổn định nhiệt cao hơn, có khả năng hoạt động lâu dài trong khí ăn mòn và môi trường nhiệt độ cao.
Q2: Pin nâng sapphire có tạo ra các hạt trong khi sử dụng không?
A2: Do bề mặt cực kỳ mịn, chân nâng sapphire có nguy cơ tạo ra hạt cực kỳ thấp, làm cho nó lý tưởng cho các quy trình cực kỳ sạch.
Q3: Các máy khác nhau có yêu cầu chân nâng sapphire tùy chỉnh không?
A3: Có, tùy thuộc vào mô hình máy và yêu cầu quy trình, chân nâng sapphire thường cần được tùy chỉnh kích thước, hình dạng và giao diện kết nối.
Sản phẩm liên quan
