1. Tổng quan

Chiếc khay vận chuyển quy trình có cấu trúc đường kính chính xác này là một thành phần công nghiệp tiên tiến được thiết kế cho các ứng dụng đòi hỏi độ bền cơ học đặc biệt, ổn định nhiệt,và độ chính xác kích thướcVới một sự kết hợp của nhiều khu vực vòng tròn khe cắm và một mạng lưới tăng cường của xương sườn hỗ trợ quang,khay được thiết kế để cung cấp hiệu suất vượt trội trong môi trường sản xuất phức tạp và đòi hỏiCác ngành công nghiệp như sản xuất bán dẫn, LED epitaxy, ngâm gốm tiên tiến, và xử lý chân không nhiệt độ cao dựa vào loại khay này để đảm bảo độ tin cậy, tính nhất quán,và thông lượng cao.

Đồ học của khay được tối ưu hóa để phân phối tải cơ khí đồng đều, duy trì độ cứng cấu trúc dưới áp lực cao,và cải thiện sự đồng nhất nhiệt trong các hoạt động liên quan đến sưởi ấm và làm mát nhanh chóngKết hợp với các vật liệu gốm hoặc kim loại tinh khiết cao và các quy trình gia công mạnh mẽ, sản phẩm này đại diện cho một thế hệ thiết bị công nghiệp mới được thiết kế để sản xuất chính xác.

2Các đặc điểm cấu trúc và thiết kế chức năng

2.1 Khung khe thông vòng đa vùng

Thang bao gồm một số lớp khe thông được phân phối tốt.

• Giảm cân:Khối lượng thấp hơn làm giảm quán tính trong quá trình quay và cải thiện hiệu quả hoạt động tổng thể.

• Tối ưu hóa lưu lượng nhiệt:Các khe cắm làm tăng khu vực phân tán nhiệt hiệu quả, cho phép phân phối nhiệt độ đồng đều trên bề mặt.

• Thiết kế giảm căng thẳng:Mô hình phân đoạn giảm thiểu nồng độ căng thẳng nhiệt và cơ học, giảm nguy cơ nứt hoặc cong.

Kiến trúc đa vùng này đặc biệt có giá trị trong quá trình ngâm nhiệt độ cao và các quy trình bán dẫn, nơi mà gradient nhiệt phải được kiểm soát chính xác.

2.2 Mạng xương sườn phóng xạ được củng cố

Các xương sườn tâm hình thành một khung cấu trúc liên kết chéo làm tăng đáng kể sức mạnh cơ học.

• Nâng tải nặng mà không bị biến dạng

• Cải thiện sự ổn định luân chuyển khi gắn trên trục

• Chống uốn cong hoặc lệch trong chu kỳ sưởi ấm và làm mát

• Duy trì độ chính xác kích thước lâu dài

Sự kết hợp của các cấu trúc hình vòng và hình đường dẫn đến một thiết kế cân bằng cao có khả năng duy trì tính toàn vẹn của nó trong môi trường công nghiệp khốc liệt.

2.3 bề mặt máy chính xác cao

Bề mặt của khay được sản xuất bằng cách sử dụng các quy trình gia công CNC tiên tiến và điều hòa bề mặt.

• Độ phẳng cao

• Độ dày chính xác đồng nhất

• Các điểm tiếp xúc tải trơn tru

• Giảm ma sát cho nền hoặc vật cố định

• Khả năng tương thích nhất quán với thiết bị tự động

Việc gia công chính xác như vậy là rất quan trọng đối với các ứng dụng bán dẫn và quang học, nơi ngay cả những sai lệch nhỏ cũng có thể dẫn đến các khiếm khuyết hoặc mất năng suất.

2.4 Giao diện lắp đặt tập trung

Ở trung tâm của khay là một giao diện gắn đặc biệt bao gồm nhiều lỗ khoan chính xác.

• Thiết lập an toàn trên trục quay

• Phân chỉnh với các thiết bị lò hoặc buồng chân không

• Định vị ổn định cho các hệ thống xử lý tự động

• Tích hợp với các công cụ kỹ thuật tùy chỉnh

Điều này đảm bảo khay phù hợp dễ dàng với các luồng công việc và mô hình thiết bị công nghiệp khác nhau.

2.5 Củng cố cấu trúc ở vòng ngoài

Nhẫn bên ngoài bao gồm các đệm củng cố phân đoạn tăng cường cạnh và duy trì cân bằng xoay.

• Kháng rung

• Tính ổn định tải trọng ngoại vi

• Độ bền dưới tác động cơ học lặp đi lặp lại

Cùng với hệ thống xương sườn bên trong, vòng bên ngoài tạo ra một chất mang cứng và ổn định phù hợp với tuổi thọ lâu dài.

3Các tùy chọn vật liệu cho các ứng dụng khác nhau

Thang có thể được sản xuất từ nhiều vật liệu hiệu suất cao tùy thuộc vào các yêu cầu ứng dụng:

3.1 Sintered Silicon Carbide (SSiC)

• Độ xốp cực thấp

• Độ dẫn nhiệt cao

• Chống ăn mòn tuyệt vời

• Lý tưởng cho môi trường bán dẫn cực sạch và chân không

3.2 Silicon Carbide liên kết phản ứng (RBSiC)

• Chống sốc nhiệt tuyệt vời

• Sức mạnh cơ học tốt

• Hiệu quả về chi phí cho sản xuất hàng loạt

• Thích hợp cho lò xát và sản xuất đèn LED

3.3 Alumina Ceramic

• Thẳng đến 1600°C

• Giá cả phải chăng và linh hoạt

• Thích hợp cho tải nhiệt chung và chế biến gốm

3.4 Kim loại cường độ cao (Aluminium / thép không gỉ)

• Khả năng gia công tốt

• Thích hợp cho thiết bị cơ khí, tự động hóa và xử lý

• Lý tưởng cho các quy trình không nhiệt hoặc nhiệt độ trung bình

Mỗi vật liệu được lựa chọn để đảm bảo hiệu suất tối đa trong điều kiện môi trường cụ thể.

4Ứng dụng công nghiệp chính

4.1 Sản xuất bán dẫn

• Thang chứa cho hệ thống CVD và PECVD

• Nền tảng hỗ trợ cho quá trình oxy hóa và khuếch tán

• Máy giữ lò sưởi và xử lý nhiệt nhanh (RTP)

• Xử lý wafer và công cụ chuyển giao tự động

4.2 Sản xuất LED và Optoelectronic

• Thang nạp wafer sapphire và SiC

• Động cơ xử lý chất nền ở nhiệt độ cao

• Nền tảng hỗ trợ epitaxial đòi hỏi hồ sơ nhiệt ổn định

4.3 Xử lý vật liệu tiên tiến

• Công nghiệp luyện kim bột và nghiền nát

• Nấu củ gốm

• Thang lò chân không nhiệt độ cao

4.4 Máy máy tự động và chính xác

• Máy quay

• Bảng cơ sở sắp xếp

• Giao diện lắp đặt thiết bị

• Máy vận chuyển tự động tùy chỉnh

Tính linh hoạt của nó làm cho nó phù hợp cho cả môi trường nhiệt và kỹ thuật cơ khí.

5Ưu điểm chính

5.1 Hiệu quả nhiệt

• Phân phối nhiệt đồng đều làm giảm thiểu các điểm nóng

• Thích hợp cho chu kỳ nhiệt nhanh

• Lý tưởng cho các hoạt động nhiệt độ cao chính xác

5.2 Độ bền cấu trúc

• Khả năng chống căng cơ khí tuyệt vời

• Chống biến dạng dưới sự thay đổi tải và nhiệt độ

• Tuổi thọ hoạt động dài làm giảm chu kỳ bảo trì

5.3 Sự ổn định của quá trình

• Rủi ro ô nhiễm thấp khi sử dụng SiC hoặc gốm

• Độ chính xác kích thước nhất quán đảm bảo năng suất sản phẩm cao

• Tương thích với chân không, trơ, hoặc điều kiện khí quyển

5.4 Khả năng tùy chỉnh

• Kích thước, độ dày và hình học khe có thể được tùy chỉnh

• Nhiều vật liệu có sẵn

• Giao diện lắp đặt trung tâm có thể được tùy chỉnh

• Các tùy chọn hoàn thiện bề mặt và đánh dấu được cung cấp

Câu hỏi thường gặp

1Một khay gốm SiC là gì?

Một khay gốm SiC là một chất mang độ chính xác được làm từ silicon carbide tinh khiết cao, được thiết kế để hỗ trợ, tải và vận chuyển miếng hoặc nền trong bán dẫn, LED, quang học,và sản xuất bằng quá trình chân khôngNó cung cấp sự ổn định nhiệt độ đặc biệt, sức mạnh cơ học và khả năng chống biến dạng trong môi trường khắc nghiệt như nhiệt độ cao, plasma và các quy trình hóa học.

2. Những lợi thế của việc sử dụng các khay SiC so với thạch anh, graphite, hoặc các khay nhôm là gì?

Các khay SiC cung cấp một số lợi ích hiệu suất vượt trội:

• Chống nhiệt độ caolên đến 1600~1800°C mà không bị biến dạng

• Khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời, đảm bảo phân phối nhiệt đồng đều

• Sức mạnh và độ cứng cơ học xuất sắc

• Sự mở rộng nhiệt thấp, ngăn ngừa biến dạng trong chu kỳ nhiệt

• Chống ăn mòn caovới khí plasma và hóa chất

• Tuổi thọ sử dụng lâu hơntrong điều kiện sản xuất căng thẳng cao liên tục

3Các ứng dụng nào được sử dụng chủ yếu cho khay gốm SiC?

Các khay SiC được sử dụng rộng rãi trong:

• Xử lý wafer bán dẫn

• Xử lý nhiệt LPCVD, PECVD, MOCVD

• Quá trình nung, khuếch tán, oxy hóa và epitaxy

• Đang tải wafer sapphire / nền quang học

• Môi trường chân không cao và nhiệt độ cao

• CMP chính xác hoặc nền tảng làm bóng

• Photonics và thiết bị đóng gói tiên tiến

4Các khay SiC có thể chịu được nhiệt sốc không?

Vâng, đồ gốm SiC có khả năng chống sốc nhiệt tuyệt vời do CTE thấp và độ cứng gãy cao.làm cho nó lý tưởng cho các quy trình chu kỳ nhiệt độ cao.

Các sản phẩm liên quan

6 Inch Silicon Carbide SiC phủ Graphite Tray nhiệt độ cao kháng tấm graphite

Silicon Carbide Ceramic Chuck cho SiC sapphire Si GAAs Wafer

Về chúng tôi

ZMSH chuyên phát triển công nghệ cao, sản xuất và bán kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới.Chúng tôi cung cấp các thành phần quang học SapphireVới chuyên môn và thiết bị tiên tiến, chúng tôi vượt trội trong chế biến sản phẩm phi tiêu chuẩn,nhằm mục đích trở thành một doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.