Tổng quan sản phẩm

ASapphire Lift Pinlà một thành phần kỹ thuật chính xác được sản xuất từ saphir tinh thể đơn tinh khiết cao (Al2O3). Nó được thiết kế để nâng wafer, định vị và chuyển trong thiết bị xử lý bán dẫn.Đinh nâng sapphire được sử dụng rộng rãi trong CVD, PECVD, PVD, MOCVD, RTP, hệ thống khuếch tán, khắc và epitaxy, nơi có khả năng chống nhiệt độ cao, ổn định hóa học và hiệu suất cực sạch là điều cần thiết.

Nhờ sức mạnh cơ học đặc biệt và sức chịu mòn của sapphire,Những chân nâng này giúp giảm thiểu việc tạo ra hạt trong khi đảm bảo xử lý wafer chính xác trong suốt quá trình sản xuất bán dẫn.

Các đặc điểm chính

Sapphire tinh thể đơn tinh khiết

Được sản xuất từ sapphire tinh thể duy nhất chất lượng quang học cao cấp, cung cấp độ tinh khiết tuyệt vời, sức mạnh cơ học và độ tin cậy lâu dài trong môi trường bán dẫn đòi hỏi.

Khả năng chống nhiệt độ cao

Sapphire duy trì sự ổn định kích thước và tính chất cơ học tuyệt vời ở nhiệt độ cao, làm cho nó phù hợp với các thiết bị lắng đọng nhiệt độ cao, ủ và xử lý nhiệt.

Chống hóa học và huyết tương tuyệt vời

Vật liệu này thể hiện khả năng kháng nổi bật đối với khí quá trình ăn mòn, môi trường plasma và hóa chất hung hăng, kéo dài đáng kể tuổi thọ của thành phần.

Sản xuất hạt cực thấp

Với độ cứng Mohs là 9 và khả năng chịu mòn đặc biệt, chân nâng sapphire làm giảm ô nhiễm hạt do ma sát, giúp cải thiện năng suất wafer và tính nhất quán của quy trình.

Sản xuất chính xác cao

Mỗi chân nâng được gia công chính xác, đánh bóng và kiểm tra để đáp ứng các tiêu chuẩn công nghiệp bán dẫn nghiêm ngặt về độ chính xác kích thước và kết thúc bề mặt.

Thông số kỹ thuật điển hình

Kích thước và dung sai tùy chỉnh có sẵn theo yêu cầu.

Ứng dụng

Sapphire Lift Pins được sử dụng rộng rãi trong:

• Thiết bị xử lý wafer bán dẫn
• Chất hóa học Vapor Deposition (CVD)
• CVD tăng cường plasma (PECVD)
• Sự lắng đọng hơi vật lý (PVD)
• Metal Organic CVD (MOCVD)
• Xử lý nhiệt nhanh (RTP)
• Các lò bơm
• Hệ thống khắc plasma
• Thiết bị Epitaxy
• Sản xuất bán dẫn SiC và GaN
• Sản xuất wafer LED

Lợi thế của chân nâng bằng saphir

• Sự ổn định nhiệt tuyệt vời trong chế biến nhiệt độ cao
• Độ cứng vượt trội và chống mòn (sự cứng của Mohs 9)
• Chống ăn mòn hóa học và plasma xuất sắc
• Sản xuất hạt cực thấp cho các ứng dụng phòng sạch
• Độ cách điện cao
• Tuổi thọ sử dụng lâu với bảo trì giảm
• Sự ổn định kích thước tuyệt vời cho vị trí wafer chính xác

Câu hỏi thường gặp (FAQ)

1Đinh nâng bằng đá saphir là gì?

Một chân nâng sapphire là một thành phần chính xác được làm từ sapphire đơn tinh thể (Al2O3) được sử dụng để nâng, hỗ trợ và định vị các tấm bán dẫn trong quá trình sản xuất.Nó thường được lắp đặt trong CVD, PVD, PECVD, MOCVD, RTP và thiết bị khắc khi nhiệt độ cao, khả năng kháng hóa học và tạo ra hạt thấp được yêu cầu.

2Tại sao sapphire được sử dụng cho chân nâng?

Sapphire cung cấp một số lợi thế so với các vật liệu gốm hoặc kim loại thông thường, bao gồm:

• Độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời
• Chống mòn vượt trội (khẳng cứng Mohs 9)
• Sản xuất hạt thấp
• Chống hóa học và huyết tương xuất sắc
• Độ cách điện cao
• Thời gian sử dụng dài

Những đặc tính này làm cho sapphire trở thành vật liệu lý tưởng để xử lý các tấm ván chính xác.

3Thiết bị bán dẫn nào sử dụng chân nâng sapphire?

Đinh nâng sapphire được sử dụng rộng rãi trong:

• Hệ thống CVD
• Hệ thống PECVD
• Thiết bị PVD
• Các lò phản ứng MOCVD
• Hệ thống RTP
• Các lò bơm
• Thiết bị khắc plasma
• Hệ thống kiểm tra và xử lý wafer
• Thiết bị sản xuất bán dẫn SiC và GaN