N-type dẫn SiC chất nền kết hợp chất nền 6inch cho Epitaxy MBE CVD LPE

N-type dẫn SiC nền kết hợp nền 6inch cho Epitaxy MBE CVD LPE

Phân tích chất nền SiC dẫn điện loại N

Lớp chất nền SiC dẫn điện loại N này có đường kính 150mm với độ chính xác ± 0,2mm và sử dụng kiểu đa 4H cho tính chất điện vượt trội.Các chất nền thể hiện một phạm vi kháng cự của 0Nó bao gồm độ dày lớp truyền mạnh mẽ ít nhất 0,4μm, tăng cường tính toàn vẹn cấu trúc của nó.Kiểm soát chất lượng giới hạn khoảng trống ≤ 5 cho mỗi waferCác đặc điểm này làm cho chất nền SiC lý tưởng cho các ứng dụng hiệu suất cao trong điện tử công suất và thiết bị bán dẫn,cung cấp độ tin cậy và hiệu quả.

Thông số kỹ thuật và sơ đồ sơ đồ cho chất nền SiC dẫn điện loại N

Tính chất của chất nền SiC dẫn điện loại N

Các chất nền Silicon Carbide (SiC) dẫn điện loại N được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng điện tử và quang điện tử khác nhau do các đặc tính độc đáo của chúng.Dưới đây là một số đặc tính chính của chất nền SiC dẫn điện loại N:

1. Tính chất điện:

   • Điện tử di động cao:SiC có tính di động điện tử cao, cho phép lưu lượng dòng điện hiệu quả và các thiết bị điện tử tốc độ cao.
   • Nồng độ chất mang nội tại thấp:SiC duy trì nồng độ chất chứa nội tại thấp ngay cả ở nhiệt độ cao, làm cho nó phù hợp với các ứng dụng nhiệt độ cao.
   • Điện áp cao:SiC có thể chịu được các trường điện cao mà không bị phá vỡ, cho phép chế tạo các thiết bị điện áp cao.

2. Tính chất nhiệt:

   • Độ dẫn nhiệt cao:SiC có tính dẫn nhiệt tuyệt vời, giúp tiêu tan nhiệt hiệu quả từ các thiết bị công suất cao.
   • Thân ổn nhiệt:SiC vẫn ổn định ở nhiệt độ cao, duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và tính chất điện tử.

3. Tính chất cơ học:

   • Độ cứng:SiC là một vật liệu rất cứng, cung cấp độ bền và chống mòn cơ khí.
   • Chất vô lực hóa học:SiC là hóa học trơ và chống lại hầu hết các axit và cơ sở, có lợi cho môi trường hoạt động khắc nghiệt.

4. Tính năng sử dụng doping:

   • Tiêu thụ doping loại N được kiểm soátSiC loại N thường được doped với nitơ để đưa ra các electron dư thừa làm chất chứa điện tích.

Hình ảnh của chất nền SiC dẫn điện loại N

Câu hỏi và câu trả lời

Hỏi: SiC epitaxy là gì?

A:SiC epitaxy là quá trình phát triển một lớp tinh thể mỏng của silicon carbide (SiC) trên một chất nền SiC. Điều này thường được thực hiện bằng cách sử dụng Chất thải hơi hóa học (CVD),trong đó các tiền chất khí phân hủy ở nhiệt độ cao để tạo thành lớp SiCLớp vỏ phù hợp với định hướng tinh thể của chất nền và có thể được đậm đặc và kiểm soát chính xác để đạt được các tính chất điện mong muốn.Quá trình này rất cần thiết để chế tạo các thiết bị SiC hiệu suất cao được sử dụng trong điện tử công suất, quang điện tử và các ứng dụng tần số cao, mang lại những lợi thế như hiệu quả cao, ổn định nhiệt và độ tin cậy.