 |
SiC lò tăng trưởng tinh thể đơn cho tinh thể 6 inch, 8 inch sử dụng phương pháp PVT, Lely, TSSG
Thông tin chi tiết sản phẩm:
| Nguồn gốc: | Trung Quốc |
| Hàng hiệu: | ZMSH |
Thanh toán:
| Số lượng đặt hàng tối thiểu: | 1 |
|---|---|
| Thời gian giao hàng: | 6 đến 8 bạch tuộc |
| Điều khoản thanh toán: | T/T |
| Khả năng cung cấp: | 5 bộ/tháng |
|
Thông tin chi tiết |
|||
| Heating Method: | Graphite Resistance Heating | nguồn điện đầu vào: | Ba pha, năm dây AC 380V ± 10% 50Hz ~ 60Hz |
|---|---|---|---|
| Nhiệt độ sưởi ấm tối đa: | 2300 ° C. | Năng lượng sưởi: | 80KW |
| Phạm vi năng lượng nóng: | 35kw ~ 40kw | Tiêu thụ năng lượng trên mỗi chu kỳ: | 3500kw · h ~ 4500kw · h |
| Crystal Growth Cycle: | 5D ~ 7D | Kích thước máy chính: | 2150mm x 1600mm x 2850mm (chiều dài x chiều rộng x chiều cao) |
| Làm nổi bật: | 8 inch SiC lò tăng trưởng nhựa,6 inch SiC lò tăng trưởng nhựa,PVT SiC lò phát triển nhựa |
||
Mô tả sản phẩm
Năng suất cao lò phát triển nhựa SiC cho tinh thể 4 inch, 6 inch và 8 inch Sử dụng phương pháp PVT, Lely và TSSG
Tóm tắt của lò tăng trưởng SiC Ingot
Lò nung tăng trưởng nhựa SiC sử dụng làm nóng kháng graphit để tăng trưởng tinh thể silicon carbide hiệu quả. Nó có thể đạt nhiệt độ tối đa 2300 ° C với công suất định giá 80kW.Cửa lò tiêu thụ từ 3500kW·h đến 4500kW·h mỗi chu kỳ, với thời gian phát triển tinh thể dao động từ 5 đến 7 ngày. Nó có kích thước 2150mm x 1600mm x 2850mm và có tốc độ lưu lượng nước làm mát là 6m3/h.Hoạt động trong môi trường chân không với khí argon và nitơ, lò này đảm bảo sản xuất các thỏi SiC chất lượng cao với hiệu suất nhất quán và đầu ra đáng tin cậy.
Bức ảnh của lò tăng trưởng SiC Ingot
Loại tinh thể đặc biệt của lò phát triển thạch cao SiC của chúng tôi
SiC có hơn 250 cấu trúc tinh thể, nhưng chỉ có loại 4HC có thể được sử dụng cho các thiết bị điện SiC.ZMSH đã thành công hỗ trợ khách hàng trong việc phát triển loại tinh thể đặc biệt này nhiều lần sử dụng lò của riêng mình.
Cửa lò tăng trưởng SiC Ingot của chúng tôi được thiết kế để tăng trưởng tinh thể silicon carbide (SiC) hiệu quả cao, có khả năng xử lý các miếng SiC 4 inch, 6 inch và 8 inch.Sử dụng các kỹ thuật tiên tiến như PVT (Physical Steam Transport), Lely, TSSG (Phương pháp gradient nhiệt độ), và LPE (Liquid Phase Epitaxy), lò của chúng tôi hỗ trợ tốc độ tăng trưởng cao trong khi đảm bảo chất lượng tinh thể tối ưu.
Cửa lò được thiết kế để phát triển các cấu trúc tinh thể SiC khác nhau, bao gồm 4H dẫn điện, 4H bán cách nhiệt và các loại tinh thể khác, chẳng hạn như 6H, 2H và 3C.Các cấu trúc này rất quan trọng cho việc sản xuất các thiết bị điện SiC và bán dẫn, rất cần thiết cho các ứng dụng trong điện tử công suất, hệ thống tiết kiệm năng lượng và thiết bị điện áp cao.
lò SiC của chúng tôi đảm bảo kiểm soát nhiệt độ chính xác và điều kiện tăng trưởng tinh thể đồng nhất, cho phép sản xuất các thỏi SiC và wafer chất lượng cao cho các ứng dụng bán dẫn tiên tiến.
Ưu điểm của lò tăng trưởng nhựa SiC của chúng tôi
1Thiết kế trường nhiệt độc đáo
Các gradient nhiệt độ trục và tâm có thể được kiểm soát chính xác, với hồ sơ nhiệt độ mượt mà và đồng đều.tối đa hóa việc sử dụng độ dày tinh thể.
Tăng hiệu quả nguyên liệu: Trường nhiệt được phân phối đồng đều trên toàn hệ thống, đảm bảo nhiệt độ nhất quán hơn trong nguyên liệu.Điều này làm tăng đáng kể việc sử dụng bột, giảm chất thải vật liệu.
Sự độc lập giữa nhiệt độ trục và tâm cho phép kiểm soát chính xác cao của cả hai độ dốc, điều này rất quan trọng để giải quyết căng thẳng tinh thể và giảm thiểu mật độ trục trặc.
2.Chính xác điều khiển cao
Các lò tăng trưởng SiC Ingot được kỹ thuật tỉ mỉ để sản xuất tinh thể SiC chất lượng cao, là điều cần thiết cho một loạt các ứng dụng bán dẫn, chẳng hạn như điện tử công suất,optoelectronicsSiC là một vật liệu quan trọng trong việc sản xuất các thành phần đòi hỏi độ dẫn nhiệt tuyệt vời, hiệu suất điện và độ bền lâu dài.lò của chúng tôi có hệ thống kiểm soát tiên tiến được thiết kế để duy trì hiệu suất nhất quán và chất lượng tinh thể vượt trội trong suốt quá trình phát triển.
Các lò tăng trưởng SiC Ingot cung cấp độ chính xác đặc biệt, với độ chính xác nguồn cấp điện là 0,0005%, độ chính xác điều khiển dòng chảy khí là ± 0,05 L / h, độ chính xác điều chỉnh nhiệt độ là ± 0,5 ° C,và ổn định áp suất phòng ± 10 PaCác thông số được điều chỉnh tinh vi này đảm bảo một môi trường ổn định, đồng nhất cho sự phát triển tinh thể, điều này rất quan trọng để sản xuất các thỏi SiC tinh khiết cao và các tấm có khiếm khuyết tối thiểu.
Các thành phần chính của lò tăng trưởng SiC Ingot, bao gồm van tỷ lệ, máy bơm cơ học, buồng chân không, máy đo lưu lượng khí và máy bơm phân tử,hoạt động cùng nhau liền mạch để cung cấp hoạt động đáng tin cậyCác tính năng này cho phép lò sản xuất các tinh thể SiC đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn.
Công nghệ ZMSH® kết hợp các kỹ thuật phát triển tinh thể tiên tiến, đảm bảo chất lượng cao nhất trong sản xuất tinh thể SiC.thiết bị của chúng tôi được tối ưu hóa để phục vụ các ngành công nghiệp như điện tử điện, năng lượng tái tạo và công nghệ tiên tiến, thúc đẩy tiến bộ trong các giải pháp tiết kiệm năng lượng và đổi mới bền vững.
3. Hoạt động tự động
APhản ứng ngoại đạo:Giám sát tín hiệu, phản hồi tín hiệu
Cảnh báo tự độngCảnh báo vượt giới hạn, an toàn động
Điều khiển tự động:Giám sát và lưu trữ thời gian thực các thông số sản xuất, truy cập từ xa và điều khiển.
Active Prompt:Hệ thống chuyên gia, tương tác giữa con người và máy
lò SiC của ZMSH tích hợp tự động hóa tiên tiến cho hiệu quả hoạt động tối ưu. Nó được trang bị các cơ chế theo dõi tín hiệu tự động và phản hồi, báo động giới hạn quá mức,và kiểm soát tham số thời gian thực với khả năng giám sát từ xaHệ thống cũng cung cấp thông báo chủ động cho sự hỗ trợ của chuyên gia và cho phép tương tác suôn sẻ giữa người vận hành và máy.
Các tính năng này giảm thiểu sự can thiệp của con người, cải thiện kiểm soát quy trình và đảm bảo sản xuất liên tục các thỏi SiC chất lượng cao, thúc đẩy hiệu quả trong các hoạt động sản xuất quy mô lớn.
Bảng dữ liệu của lò tăng trưởng nhựa SiC của chúng tôi
| 6 inch sic bếp | 8 inch sic bếp | ||
| Dự án | PARAMETER | Dự án | PARAMETER |
| Phương pháp sưởi | Nhiệt độ kháng graphit | Phương pháp sưởi | Nhiệt độ kháng graphit |
| Năng lượng đầu vào | Ba pha, năm dây AC 380V ± 10% 50Hz ~ 60Hz | Năng lượng đầu vào | Ba pha, năm dây AC 380V ± 10% 50Hz ~ 60Hz |
| Nhiệt độ sưởi ấm tối đa | 2300°C | Nhiệt độ sưởi ấm tối đa | 2300°C |
| Năng lượng sưởi ấm | 80kW | Năng lượng sưởi ấm | 80kW |
| Phạm vi công suất máy sưởi | 35kW ~ 40kW | Phạm vi công suất máy sưởi | 35kW ~ 40kW |
| Tiêu thụ năng lượng mỗi chu kỳ | 3500kW·h ~ 4500kW·h | Tiêu thụ năng lượng mỗi chu kỳ | 3500kW·h ~ 4500kW·h |
| Chu kỳ tăng trưởng tinh thể | 5D ~ 7D | Chu kỳ tăng trưởng tinh thể | 5D ~ 7D |
| Kích thước máy chính | 2150mm x 1600mm x 2850mm (chiều dài x chiều rộng x chiều cao) | Kích thước máy chính | 2150mm x 1600mm x 2850mm (chiều dài x chiều rộng x chiều cao) |
| Trọng lượng máy chính | ≈ 2000kg | Trọng lượng máy chính | ≈ 2000kg |
| Dòng nước làm mát | 6m3/h | Dòng nước làm mát | 6m3/h |
| Lượng trống giới hạn lò lạnh | 5 × 10−4 Pa | Lượng trống giới hạn lò lạnh | 5 × 10−4 Pa |
| Không khí lò | Argon (5N), Nitơ (5N) | Không khí lò | Argon (5N), Nitơ (5N) |
| Vật liệu thô | Các hạt Silicon Carbide | Vật liệu thô | Các hạt Silicon Carbide |
| Loại tinh thể sản phẩm | 4h | Loại tinh thể sản phẩm | 4h |
| Độ dày tinh thể sản phẩm | 18mm ~ 30mm | Độ dày tinh thể sản phẩm | ≥ 15mm |
| Chiều kính thực tế của tinh thể | ≥ 150mm | Chiều kính thực tế của tinh thể | ≥ 200mm |
Dịch vụ của chúng tôi
Các giải pháp toàn diện phù hợp
Chúng tôi cung cấp các giải pháp lò Silicon Carbide (SiC) tùy chỉnh, bao gồm PVT, Lely và công nghệ TSSG / LPE, phù hợp với nhu cầu cụ thể của bạn.chúng tôi đảm bảo hệ thống của chúng tôi phù hợp với mục tiêu sản xuất của bạn.
Đào tạo khách hàng
Chúng tôi cung cấp đào tạo toàn diện để đảm bảo nhóm của bạn hiểu đầy đủ cách vận hành và bảo trì lò của chúng tôi.
Lắp đặt tại chỗ và đưa vào sử dụng
Nhóm của chúng tôi cá nhân lắp đặt và đưa vào hoạt động lò SiC tại vị trí của bạn. Chúng tôi đảm bảo cài đặt trơn tru và tiến hành một quy trình xác minh kỹ lưỡng để đảm bảo hệ thống hoạt động đầy đủ.
Hỗ trợ sau bán hàng
Chúng tôi cung cấp dịch vụ sau bán hàng nhanh chóng. Nhóm của chúng tôi sẵn sàng hỗ trợ sửa chữa và khắc phục sự cố tại chỗ để giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và giữ cho thiết bị của bạn hoạt động trơn tru.
Chúng tôi cam kết cung cấp lò sưởi chất lượng cao và hỗ trợ liên tục để đảm bảo sự thành công của bạn trong sự phát triển tinh thể SiC.