Hệ thống điều khiển thời gian thực SICOI 99,9% độ chính xác thuật toán cho robot và máy CNC

Giới thiệu
SiliconCacbuaTRÊNNgười cách điệnSICOI)gầyphimđại diệnMộtsự cắtbờ rìalớp họccủatổng hợpnguyên vật liệu,tạoquaTích hợpMộtcao-chất lượng,đơn-pha lêSiliconcacbua (Sic)lớp-tiêu biểu500ĐẾN600nanometdày-lênMộtSilicondioxide (Sio₂)căn cứ.Được biết đếnvìcủa nóthượng đẳngnhiệtđộ dẫn điện,caoĐiệnsự cốsức mạnh,Vàxuất sắcsức chống cựĐẾNhóa chấtsự xuống cấp,Sic,khighép đôivớiMỘTcách điệnchất nền,cho phépcácphát triểncủathiết bịcó khả năngcủahoạt độngđáng tin cậydướivô cùngquyền lực,Tính thường xuyên,Vànhiệt độđiều kiện.

Nguyên tắc
SICOIgầyphimCó thểlàsản xuấtbởi vìCmos-tương thíchkỹ thuậtnhư làBẰNGion-cắtVàwafersự gắn kết,tạo điều kiệncủa họTích hợpvớithông thườngchất bán dẫnthiết bịNền tảng.

Ion-CắtKỹ thuật
Mộtrộng rãiđã sử dụngphương phápliên quan đếncácion-cắt (Thông minhCắt)tiếp cận,Ở đâuMộtgầySiclớplàchuyển nhượnglênMộtchất nềnbởi vìioncấy ghéptheo sauquawaferliên kết.Cái nàyphương pháp luận,ban đầuđã phát triểnvìsản xuấtsilicon-TRÊN-người cách điệnSoi)vệtTạitỉ lệ,khuôn mặtthách thứckhiáp dụngĐẾNSic.Cụ thể,ioncấy ghépCó thểgiới thiệucấu trúckhiếm khuyếtTRONGSiccái đólàkhó ĐẾNSửa chữathông quanhiệtsự dập tắt,Dẫn đầuĐẾNđáng kểquang họctổn thấtTRONGPhotonicthiết bị.Hơn nữa,ủTạinhiệt độbên trên1000 °Ccó thểxung độtvớicụ thểquá trìnhgiới hạn.

ĐẾNvượt quanhững cái nàynhững hạn chế,cơ họcmỏngthông quaNghiềnVàhóa chấtcơ họcđánh bóng (CMP)Có thểgiảm bớtcácSic/Sio₂ ”Sitổng hợplớpĐẾNdưới1μm,năng suấtMộtRất caotrơn trubề mặt.Hồi đáp nhanhionkhắc (Rie)Ưu đãiMỘTthêm vàomỏngtuyến đườngcái đógiảm thiểuquang họctổn thấtTRONGSICOINền tảng.TRONGsong song,ướtsự oxy hóahỗ trợCMPcóhiển thịhiệu quảTRONGgiảmbề mặtbất thườngVàtán xạcác hiệu ứng,trong khitiếp theocao-nhiệt độủCó thểnâng caotổng thểwaferchất lượng.

WaferLiên kếtCông nghệ
MỘTthay thếtiếp cậnvìchế tạoSICOIcấu trúcliên quan đếnwafersự gắn kết,Ở đâuSiliconcacbua (Sic)Vàsilicon (Si)vệtlàTham giadướiáp lực,sử dụngcácKhungoxy hóalớpTRÊNcả haibề mặtĐẾNhình thứcMộttrái phiếu.Tuy nhiên,nhiệtquá trình oxy hóacủaSicCó thểgiới thiệuđịa phương hóakhiếm khuyếtTạicácSic/oxitgiao diện.Những cái nàykhông hoàn hảocó thểtăngquang họcnhân giốngtổn thấthoặctạo nênthù laobẫytrang web.Ngoài ra,cácSio₂lớpTRÊNSiclàthườnggửisử dụnghuyết tương-nâng caohóa chấthơilắng đọng (PECVD),Mộtquá trìnhcái đócó thểgiới thiệucấu trúcbất thường.

ĐẾNĐịa chỉnhững cái nàyvấn đề,MỘTđược cải thiệnphương phápcólàđã phát triểnvìchế tạo3C-SICOIchip,cái màsử dụnganốtliên kếtvớiBorosilicatethủy tinh.Cái nàykỹ thuậtgiữ lạiđầykhả năng tương thíchvớiSiliconmicromachining,CMOmạch,VàSic-dựa trênPhotonicTích hợp.Cách khác,vô định hìnhSicphimCó thểlàtrực tiếpgửilênSio₂/Sivệtthông quaPECVDhoặcđang phun ra,Cung cấpMộtđơn giản hóaVàCmos-thân thiệnsự chế tạotuyến đường.Những cái nàytiến bộđáng kểnâng caocáckhả năng mở rộngVàkhả năng ứng dụngcủaSICOIcông nghệTRONGPhotonics.

Thuận lợi
TRONGso sánhĐẾNhiện hànhvật liệuNền tảngnhư làBẰNGsilicon-TRÊN-người cách điệnSoi),Siliconnitơ (Tội lỗi),VàLithiumnuibate-TRÊN-người cách điệnLnoi),cácSICOInền tảngƯu đãiriêng biệthiệu suấtnhững lợi íchvìPhotonicứng dụng.Vớicủa nóđộc nhấtcủa cải,SICOIlàngày càng nhiềuđược công nhậnBẰNGMộthứa hẹnứng viênvìKế tiếp-thế hệlượng tửcông nghệ.Của nóchìa khóathuận lợibao gồm:

• RộngQuang họcTính minh bạch:SICOItriển lãmcaotính minh bạchsangMộtrộngquang phổphạm vi-từkhoảng400nmĐẾN5000NM…trong khiduy trìthấpquang họcsự mất mát,vớiống dẫn sóngsự suy giảmtiêu biểudưới1db/cm.

• Đa chức năngKhả năng:Cácnền tảngcho phépphong phúchức năng,bao gồmelectro-quangsự điều hòanhiệtđiều chỉnhVàTính thường xuyênđiều khiển,làmNóthích hợpvìtổ hợptích hợpPhotonicMạch.

• Phi tuyếnQuang họcCủa cải:SICOIhỗ trợthứ hai-điều hòathế hệVàkhácphi tuyếncác hiệu ứng,VàNóMà còncung cấpMộtkhả thisự thành lậpvìđơn-Photonkhí thảibởi vìthiết kếmàu sắctrung tâm.

Ứng dụng

SICOInguyên vật liệuTích hợpcácthượng đẳngnhiệtđộ dẫn điệnVàcaosự cốđiện ápcủaSiliconcacbua (Sic)vớicácxuất sắcĐiệncách nhiệtcủa cảicủaoxitlớptrong khiđáng kểNâng caocácquang họcđặc trưngcủatiêu chuẩnSicChất nền.Cái nàylàm chohọRất caothích hợpvìMộtrộngphạm vicủatrình độ caocác ứng dụng,bao gồmtích hợpPhotonics,lượng tửquang học,Vàcao-hiệu suấtquyền lựcĐiện tử.

Tận dụngcácSICOInền tảng,các nhà nghiên cứucóthành côngbịa đặtnhiềucao-chất lượngPhotonicthiết bịnhư làBẰNGthẳngống dẫn sóng,microringVàMicrodiskbộ cộng hưởng,Photonicpha lêống dẫn sóng,electro-quangngười điều biến,MachZehndergiao thoa kế (Mzis),Vàquang họcchùmngười chia tách.Những cái nàycác thành phầnlàđặc trưngquathấpnhân giốngsự mất mátVàxuất sắcchức nănghiệu suất,Cung cấpmạnh mẽcơ sở hạ tầngvìcông nghệgiốnglượng tửgiao tiếp,Photonictín hiệuxử lý,Vàcao-Tính thường xuyênquyền lựchệ thống.

Quasử dụngMộtgầyphim ảnhkết cấu-tiêu biểuhình thànhqualớpđơn-pha lêSic (xung quanh500…600nmdày)lênMộtSiliconDioxidechất nền ”SICOIcho phéphoạt độngTRONGđòi hỏimôi trườngliên quancaoquyền lực,caonhiệt độ,Vàradio-Tính thường xuyênđiều kiện.Cái nàytổng hợpthiết kếvị tríSICOIBẰNGMộtDẫn đầunền tảngvìKế tiếp-thế hệquang điện tửVàlượng tửthiết bị.

Q & A.

Q1:Cái gìlàMộtSICOIwafer?
A1: MỘTSicoi (SiliconCacbuaTRÊNNgười cách điện)waferlàMộttổng hợpkết cấubao gồmcủaMộtgầylớpcủacao-chất lượngđơn-pha lêSiliconcacbua (Sic)ngoại quanhoặcgửiTRÊNMỘTcách điệnlớp,tiêu biểuSilicondioxide (Sio₂).Cái nàykết cấuKết hợpcácxuất sắcnhiệtVàĐiệncủa cảicủaSicvớicácsự cách lynhững lợi íchcủaMỘTngười cách lylàmNóRất caothích hợpvìứng dụngTRONGPhotonics,quyền lựcđiện tử,Vàlượng tửcông nghệ.

Q2:Cái gìlàcácchủ yếuứng dụngkhu vựccủaSICOIbánh quế?
A2: SICOIvệtlàrộng rãiđã sử dụngTRONGtích hợpPhotonics,lượng tửquang học,RFđiện tử,cao-nhiệt độthiết bị,Vàquyền lựchệ thống.Đặc trưngcác thành phầnbao gồmmicroringbộ cộng hưởng,MachZehndergiao thoa kế (Mzis),quang họcống dẫn sóng,người điều biến,Microdiskbộ cộng hưởng,Vàchùmngười chia tách.

Q4:Làm saolàSICOIvệtbịa đặt?
A4: SICOIvệtCó thểlàsản xuấtsử dụngnhiềuphương pháp,bao gồmThông minh-Cắt (ion-cắtVàwaferliên kết),trực tiếpliên kếtvớiNghiềnVàCmp,anốtliên kếtvớithủy tinh,hoặctrực tiếplắng đọngcủavô định hìnhSicthông quaPECVDhoặcphóng xạ.Cácsự lựa chọncủaphương phápPhụ thuộcTRÊNcácứng dụngVàmong muốnSicphim ảnhchất lượng.

sản phẩm liên quan