Máy đánh bóng chùm ion
Độ chính xác ở cấp độ nguyên tử · Xử lý không tiếp xúc · Bề mặt siêu mịn

Tổng quan sản phẩm của Máy đánh bóng chùm ion
 

Máy CNC Ion Beam Figuring/Polishing Machine hoạt động theo nguyên tắc:Xịt ionDưới điều kiện chân không, nguồn ion tạo ra một chùm plasma, được tăng tốc thành một chùm ion pháo kích bề mặt đồ đạc để loại bỏ vật liệu ở cấp độ nguyên tử,cho phép chế tạo cực chính xác các thành phần quang học.

Công nghệ này cung cấpchế biến không tiếp xúc, không bị căng thẳng cơ học hoặc thiệt hại dưới bề mặt, và lý tưởng cho quang học chính xác cao trong thiên văn học, hàng không vũ trụ, chất bán dẫn và nghiên cứu khoa học.

Nguyên tắc hoạt độngcủa Máy đánh bóng chùm ion

• Sản xuất ion- khí trơ (ví dụ, argon) được đưa vào buồng chân không và được ion hóa bởi một trường xả điện.

• Tăng tốc ion và hình thành chùm tiaCác ion được tăng tốc đến hàng trăm hoặc hàng ngàn điện tử volt (eV) và được hình thành thành một điểm chùm ổn định bằng phương pháp lấy nét quang học.

• Loại bỏ vật liệuĐường chùm ion vật lý phun ra các nguyên tử bề mặt mà không có phản ứng hóa học.

• Đánh giá lỗi và lập kế hoạch đường dẫnCác lỗi hình ảnh bề mặt được đo bằng cách can thiệp, sau đó các chức năng loại bỏ được sử dụng để tính thời gian tồn tại chùm và tạo ra các đường xử lý.

• Điều chỉnh vòng tròn khép kín- Các chu kỳ xử lý và đo lường được lặp lại cho đến khi đạt được các mục tiêu RMS/PV.

Tính năng thiết bịcủa Máy đánh bóng chùm ion

• Xử lý không tiếp xúcCó khả năng xử lý tất cả các hình dạng bề mặt

• Tỷ lệ loại bỏ ổn định️ Độ chính xác điều chỉnh hình ảnh dưới nanomet

• Không bị hư hỏng dưới bề mặtBảo vệ tính toàn vẹn quang học

• Độ nhất quán cao️ Sự biến động tối thiểu giữa các vật liệu có độ cứng khác nhau

• Điều chỉnh tần số thấp / trung bìnhKhông tạo ra lỗi tần số trung bình cao

• Chi phí bảo trì thấp️ Hoạt động liên tục lâu dài với thời gian ngừng hoạt động tối thiểu

Công suất xử lý thiết bịcủa Máy đánh bóng chùm ion

Bề mặt có sẵn:

• Các thành phần quang học đơn giản: mặt phẳng, hình cầu, ống kính

• Các thành phần quang học phức tạp: Asphere đối xứng / không đối xứng, Asphere ngoài trục, bề mặt hình trụ

• Các thành phần quang học đặc biệt: quang học siêu mỏng, quang học thanh, quang học bán cầu, quang học phù hợp, tấm pha, bề mặt hình tự do, hình dạng tùy chỉnh khác

Các tài liệu có sẵn:

• Kính quang phổ biến: Thạch anh, Microcrystalline, K9, v.v.

• quang học hồng ngoại: Silicon, Germanium, v.v.

• Kim loại: nhôm, thép không gỉ, hợp kim titan, vv

• Các vật liệu tinh thể: YAG, Silicon Carbide đơn tinh thể, vv

• Các vật liệu cứng / mỏng khác: Silicon Carbide, vv.

Chất lượng bề mặt / Độ chính xác:

• PV < 10 nm

• RMS ≤ 0,5 nm

Ưu điểm sản phẩmcủa Máy đánh bóng chùm ion

• Độ chính xác loại bỏ ở cấp độ nguyên tử¢ Cho phép bề mặt siêu mịn cho các hệ thống quang học đòi hỏi

• Khả năng tương thích hình dạng đa dạngTừ quang học phẳng đến các dạng tự do phức tạp

• Khả năng thích nghi rộng rãi của vật liệuTừ tinh thể chính xác đến gốm cứng và kim loại

• Khả năng khẩu độ lớn️ Công nghệ quang học lên đến Φ4000 mm

• Hoạt động ổn định kéo dài️ Chạy 3-5 tuần mà không cần bảo trì phòng chân không

Mô hình điển hình của máy đánh bóng chùm ion

• IBF350 / IBF750 / IBF1000 / IBF1600 / IBF2000 / IBF4000

• Trục chuyển động: 3-trục / 5-trục

• Max Workpiece Size: tối đa Φ4000 mm

Trường hợp 1 Standard Flat Mirror

• Phần làm việc: D630 mm Quartz phẳng

• Kết quả: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm

​​

Trường hợp 2 ️ Kính phản xạ tia X

• Phần làm việc: 150 × 30 mm Silicon phẳng

• Kết quả: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Độ nghiêng 0,13 μrad

​

Trường hợp 3 ️ Kính bên ngoài trục

• Phần làm việc: D326 mm Chiếc gương mặt ngoài trục

• Kết quả: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm

Các lĩnh vực ứng dụng của Máy đánh bóng chùm ion

• Kính quang thiên văn học️ Kính kính thiên văn lớn

• Phương pháp quang học không gian️ Kỹ thuật viễn thám vệ tinh, hình ảnh không gian sâu

• Hệ thống laser công suất caoICF quang học, hình dạng chùm tia

• Kính bán dẫn️ Kính và gương lithography

• Thiết bị khoa học️ Kính X-quang/neutron, các thành phần tiêu chuẩn đo lường

Sản phẩm liên quan

Máy khắc laser sợi nhỏ gọn Sửa sạch Bảo trì miễn phí đánh dấu cho xưởng Doanh nghiệp nhỏ

Máy cắt kim cương kim cột kim cương

Về chúng tôi

ZMSH chuyên phát triển công nghệ cao, sản xuất và bán kính quang học đặc biệt và vật liệu tinh thể mới.Chúng tôi cung cấp các thành phần quang học SapphireVới chuyên môn và thiết bị tiên tiến, chúng tôi vượt trội trong chế biến sản phẩm phi tiêu chuẩn,nhằm mục đích trở thành một doanh nghiệp công nghệ cao hàng đầu về vật liệu quang điện tử.