 |
SiC lò tăng trưởng nhựa PVT HTCVD LPE tinh thể đơn SiC Boule lò tăng trưởng cho sản phẩm miếng SiC 6 inch 8 inch
Thông tin chi tiết sản phẩm:
| Nguồn gốc: | Trung Quốc |
| Hàng hiệu: | ZMSH |
| Số mô hình: | Lò tăng trưởng Sic Boule |
Thanh toán:
| Số lượng đặt hàng tối thiểu: | 1 |
|---|---|
| Thời gian giao hàng: | 6-8 tháng |
| Điều khoản thanh toán: | T/T |
|
Thông tin chi tiết |
|||
| Vacuum Leakage Rate: | ≤ 5 Pa/12 h (after bake-out) | Crucible Diameter: | Ø 400 mm |
|---|---|---|---|
| Furnace Height: | 1250 mm | Heating Method: | PVT HTCVD LP |
| Heating Power: | Pmax = 40 kW, Frequency = 8–12 kHz | Temperature Measurement: | Dual-color infrared pyrometer |
| Pressure Range: | 1–700 mbar | Crystal Size: | 6–8 inches |
| Temperature Control Accuracy: | ±0.5°C | Pressure Rise Rate: | < 5 Pa/12 h |
| Làm nổi bật: | Một tinh thể SiC lò tăng trưởng nhựa,8 inch SiC lò tăng trưởng nhựa,6 inch SiC lò tăng trưởng nhựa |
||
Mô tả sản phẩm
SiC lò tăng trưởng nhựa PVT HTCVD LPE tinh thể đơn SiC Boule lò tăng trưởng cho sản phẩm miếng SiC 6 inch 8 inch
SiC Ingot tăng trưởng lò
CácSiC lò tăng trưởng nhựalà một hệ thống tiên tiến được thiết kế để tăng hiệu quả cao củaSiC Boules tinh thể đơnđược sử dụng trong sản xuất6 inchvà8 inch SiC wafersSử dụng các phương pháp phát triển đa năng bao gồmPVT (Phương tiện vận chuyển hơi nước vật lý),HTCVD (Sự lắng đọng hơi hóa học ở nhiệt độ cao), vàLPE (Liquid Phase Epitaxy), lò này đảm bảo điều kiện tối ưu để hình thànhBạch kim SiC tinh khiết cao, khiếm khuyết thấp.
Với sự kiểm soát chính xác về nhiệt độ, áp suất và chân không,SiC lò tăng trưởng nhựacho phép ổn định và mở rộngTăng SiC Boule, đáp ứng nhu cầu của thế hệ tiếp theoỨng dụng bán dẫnnhư xe điện (EV), năng lượng tái tạo và điện tử công suất cao.Thiết kế tùy chỉnh cho phép các nhà sản xuất thích nghi với các quy mô sản xuất khác nhau và các thông số kỹ thuật tinh thể trong khi đảm bảo chất lượng và năng suất nhôm nhất quán.
Dữ liệu của lò tăng trưởng SiC Ingot
| Parameter | Giá trị |
|---|---|
| Kích thước tinh thể | 6 ′′ 8 inch |
| Phương pháp sưởi | Nâng nhiệt bằng cảm ứng / kháng cự |
| Độ chính xác lắp đặt và di chuyển dây (mm) | ±0,5 mm |
| Vật liệu phòng & Phương pháp làm mát | Nước làm mát / Không khí làm mát |
| Độ chính xác điều khiển nhiệt độ | ± 0,5°C |
| Độ chính xác điều khiển áp suất | < 5 ± 0,05 mbar |
| Hỗn độ tối đa | 5 × 10−6 mbar |
| Tốc độ tăng áp suất | < 5 Pa/12h |
Lý thuyết tăng trưởng
1Phương pháp PVT (Phương pháp vận chuyển hơi nước vật lý)
TrongPhương pháp PVT,silicon carbide (SiC)tinh thể được phát triển thông quaSublimation và condensation. Ở nhiệt độ cao (2000~2500°C),Bột SiCSublimates (đổi từ rắn thành hơi) bên trong một chân không hoặc môi trường áp suất thấp.Khí SiCđược vận chuyển thông qua mộtgradient nhiệt độvàtrầm tích trên tinh thể hạt giống, nơi nóngưng tụ và phát triểnthành một tinh thể duy nhất, được gọi là mộtSiC Boule.
- Các đặc điểm chính:
- Tăng trưởng tinh thể bằng vận chuyển pha hơi.
- Cần kiểm soát chính xác độ dốc nhiệt độ và áp suất.
- Được sử dụng để sản xuấtSiC Boules tinh thể đơn bán lẻcho cắt wafer
- Tăng trưởng tinh thể bằng vận chuyển pha hơi.
2. Cự kháng Nhiệt độ nguyên tắc hỗ trợ tăng trưởng
Trongsưởi ấm kháng cự, dòng điện đi qua mộtyếu tố sưởi ấm kháng(ví dụ: graphite), tạo ra nhiệt làm tăng nhiệt độ của buồng phát triển vàNguyên liệu nguồn SiCPhương pháp sưởi ấm này được sử dụng để duy trì nhiệt độ cao và ổn định cần thiết choQuá trình PVT.
- Các đặc điểm chính:
- Sưởi ấm gián tiếpPhương pháp: nhiệt được chuyển từ lò sưởi sang lò nung.
- Cung cấpsưởi ấm đồng bộ và được kiểm soát.
- Thích hợp chosản xuất quy mô trung bìnhvới mức tiêu thụ năng lượng ổn định.
SiC Ingot tăng trưởng lò Photo của
Kết quả của chúng tôi
Tại ZMSH,SiC Boulesđược sản xuất bằng cách sử dụng tiên tiến của chúng tôiSiC lò tăng trưởng nhựacung cấp những lợi thế đáng kể trong cả haichất lượng tinh thểvàtương thích quá trình, đảm bảo chúng đáp ứng đầy đủ các yêu cầu nghiêm ngặt củaSản xuất bán dẫn.
Ưu điểm chính:
-
Độ tinh khiết cao: SiC Boules của chúng tôi được trồng trong điều kiện được kiểm soát chặt chẽ, đạt được độ tinh khiết đặc biệt và ô nhiễm tối thiểu, rất quan trọng cho các thiết bị bán dẫn hiệu suất cao.
-
Mật độ khiếm khuyết thấp: Với kiểm soát chính xác nhiệt độ, chân không, và áp suất trong quá trình phát triển, SiC Boules của chúng tôi trưng bàymật độ trật tự thấpvà các ống vi mô tối thiểu, đảm bảo tính chất điện vượt trội và năng suất thiết bị.
-
Cấu trúc tinh thể đồng nhất: Độ tinh thể nhất quán trên toàn bộ quả bóng, cho phép cắt tỉa hiệu quả và sản xuất wafer vớiĐộ dày đồng nhất và chất lượng vật liệu.
-
Hoàn toàn tương thích với các quy trình bán dẫn: SiC Boules của chúng tôi được thiết kế để phù hợp với tiêu chuẩn công nghiệplàm mỏng, đánh bóng và phát triển biểu trụccác quy trình, đảm bảo tích hợp trơn tru vào hạ lưuSản xuất thiết bịluồng công việc.
-
Scalable sản xuất cho 6-inch và 8-inch Wafers: Thích hợp cho sản xuất số lượng lớn6 inch và 8 inch SiC wafers, đáp ứng nhu cầu thị trường ngày càng tăng về điện tử điện, EV và các ứng dụng tần số cao.
Dịch vụ của chúng tôi
TạiZMSH, chúng tôi đề nghịDịch vụ tùy chỉnhđể đáp ứng nhu cầu đa dạng của khách hàng của chúng tôi trongSản xuất SiC BouleTừ cấu hình thiết bị đến hỗ trợ quy trình, chúng tôi đảm bảo rằng mọi giải pháp phù hợp hoàn hảo với mục tiêu sản xuất và yêu cầu kỹ thuật của bạn.
Chúng tôi cung cấp:
-
Thiết kế thiết bị phù hợp: Chúng tôi tùy chỉnh cácSiC Boule Growth Furnacethông số kỹ thuật bao gồm kích thước tinh thể (6 inch, 8 inch hoặc tùy chỉnh), phương pháp sưởi ấm (kích ứng / kháng cự) và hệ thống điều khiển để phù hợp với nhu cầu sản xuất cụ thể của bạn.
-
Tùy chỉnh tham số quy trình: Chúng tôi giúp tối ưu hóa nhiệt độ, áp suất, và các thông số chân không dựa trên chất lượng tinh thể mong muốn của bạn, đảm bảo sự phát triển ổn định và hiệu quả củaSiC Boules.
-
Lắp đặt tại chỗ và đưa vào sử dụng: Nhóm chuyên gia của chúng tôi cung cấpCài đặt tại chỗ, hiệu chuẩn và tích hợp hệ thống để đảm bảo thiết bị của bạn hoạt động ở hiệu suất cao nhất từ ngày đầu tiên.
-
Đào tạo khách hàng: Chúng tôi cung cấp toàn diệnđào tạo kỹ thuậtcho nhân viên của bạn, bao gồm hoạt động, bảo trì và khắc phục sự cố của lò, để đảm bảo sử dụng an toàn và hiệu quả.
-
Hỗ trợ sau bán hàng: ZMSH cung cấp dài hạnDịch vụ sau bán hàng, bao gồm hỗ trợ từ xa, bảo trì định kỳ và dịch vụ sửa chữa phản ứng nhanh để giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động.