Tính chất vật liệu của CVD Polycrystalline SiC

CVD polycrystalline SiC được sản xuất bằng cách lắng đọng hơi nước hóa học. Nó có cấu trúc dày đặc, độ tinh khiết cao, khả năng chống ăn mòn tuyệt vời,và ổn định mạnh trong môi trường quá trình sạch bán dẫn.

Ưu điểm sản phẩm

Độ tinh khiết cao

Độ tinh khiết của CVD SiC có thể đạt99.99997%, giúp giảm nguy cơ ô nhiễm kim loại trong các quy trình đầu cuối bán dẫn.

Chống ăn mòn plasma tuyệt vời

CVD SiC duy trì sự ổn định tốt trong môi trường plasma dựa trên fluor và clo, giảm mài mòn thành phần và tạo ra hạt.

Độ dẫn nhiệt cao

Với độ dẫn nhiệt là240~360 W/m·K, CVD SiC giúp cải thiện sự đồng nhất của lĩnh vực nhiệt và tính nhất quán của quá trình.

Độ ổn định ở nhiệt độ cao

Các thành phần CVD SiC phù hợp với EPI, Diffusion, RTP và các quy trình nhiệt độ cao khác. Chúng duy trì sự ổn định kích thước tốt trong quá trình sử dụng lâu dài.

Độ cứng cao và chống mòn

Độ cứng Vickers cao cung cấp khả năng chống mòn tuyệt vời và giúp kéo dài tuổi thọ của thành phần.

Thiết bị gia công tùy chỉnh có sẵn

Các sản phẩm có thể được tùy chỉnh theo bản vẽ của khách hàng, bao gồm đường kính bên ngoài, đường kính bên trong, lỗ, rãnh, bước, chamfers, tình trạng bề mặt và độ chính xác lắp ráp.

Các lĩnh vực ứng dụng

Các thành phần SiC polycrystalline CVD được sử dụng rộng rãi trong:

• Thiết bị khắc khô
• Thiết bị Epitaxy
• Thiết bị lò phun
• Thiết bị RTP
• Các bộ phận OEM của thiết bị bán dẫn
• Phân thay phụ tùng sản xuất wafer
• Các quy trình sản xuất wafer Si, SiC, GaN, GaAs

Câu hỏi và câu trả lời

Q1: CVD polycrystalline SiC là gìcác thành phầndùng để làm gì?

CVD polycrystalline SiCcác thành phầnchủ yếu được sử dụng trong mặt trước bán dẫnthiết bị,bao gồm KhôChụp, EPI, Diffusion, và RTPhệ thống.Thông thườngCác sản phẩm bao gồmVòng silic, silicđiện cực,cạnhNhẫn, chất hấp thụ, thuyền SiC và miếng wafer giả.

Q2: Lợi thế của CVD SiC so với các bộ phận thạch anh hoặc silicon là gì?

CVD SiC cung cấp tốt hơnăn mòn plasmakháng cự, nhiệt độ caosự ổn định, dẫn nhiệt, độ cứng, vàdịch vụcuộc sốngCó thể.giảm hạtthế hệ vàthành phầnđeo trongkhắc nghiệtbán dẫnquá trình môi trường.

Q3: Những vật liệu là gìcó sẵncho nhữngcác thành phần?

Chúng tôi có thể cung cấpcác thành phầnđược làm từCVD SiC, đơntinh thểsilicon, đa-tinh thểsilic, và thạch anh, tùy thuộc vàoứng dụngvàthiết bị yêu cầu.